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南智先进光电集成技术研究院微纳制造公共技术服务平台是一个先进和开放的微纳米技术研发支撑平台,对社会提供开放共享的技术研发服务,对提高江北新区、南京市、乃至江苏省的光电类微纳产品的科研水平、开展相关技术交流、促进学科交叉、吸引高层次人才及相关企业入驻、加强企业间的合作交流都有着重要的作用。




人才队伍


研究院拥有研发人员40余人,其中院士1人、长江学者1人,杰青、优青5人,青年千人、省“333”工程、省“双创”专家11人;拥有办公及实验场地11000平米。构建了技术研发平台、公共技术服务平台、光电专属基金 “三元”运营体系。

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工艺环境

纳米加工和纳米表征洁净室面积超过1300平方米。 洁净室千级区的温度波动范围可以维持在±1℃/h,百级区温度可维持在±0.5℃/h,电子束光刻区域为±0.1℃/h。 纳米加工洁净室设备包含光刻、湿法和干法蚀刻、沉积、扩散、表征和其他常见纳米加工设备。



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