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南智集成光电公共技术服务平台成长记

时间:2020-02-23 点击量: 542

南智集成光电公共技术服务平台成长记


历经千锤百炼,几经波折,多少日日夜夜的改善提升方案的实施,南智集成光电公共技术服务平台即将与大家见面。


平台结合先进的温湿度控制方案,在3000平米的洁净室内,温度稳定性达到了最佳±0.1℃,湿度稳定性达到了可控±5%RH。内部布局按功能区划分,既保障了稳定安全性,也保证了高效能的运行。


在实验室的布局上进行了精心的策划,既着眼于现在的应用,也满足未来的发展。充分结合工业厂房的空间优势,将核心实验区、产业配套区、厂务配套区按照矩阵式排列,厂务区平行拓展,灵活应对未来的产业配套扩展服务。


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人性化的设计

提供便捷的技术交流休息区,

男女更分离,舒适方便!


开放性的展示

全景环绕式参观通道,

第一视角展现实验室内景,

绕一圈一切都明白了!


科学化的布局

百级、千级、万级区域集中分布,

一条走廊连接所有功能区,

提供轻轻松松的实验体验!


接下来给大家详细介绍下我们平台的高标准温湿度控制都是如何实现的吧!

~让我们一起出发~


实验室设计的内部温度控制基值为22.0℃,整体实验室温度波动值为±0.3℃,相对湿度要求45-55%RH,而要求最高的EBL电子束光刻间温度波动值最佳可实现±0.1℃的指标。


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(空调系统示意图)


在夏季高温高湿的工况下,室外高温高湿的空气通过全新风空调机组进行预处理,处理到温度13℃、湿度95%RH左右,控制系统根据室内温湿度情况调整电加热,将能满足室内温湿度要求的新风补进房间。室内经过干盘管处理后的空气最后在通过末端二级精密温控单元根据实验室内部实时温度进行精密控温,最终使实验室内部的温湿度数据达到温度波动度22.0℃±0.1℃、相对湿度要求45-55%RH这个指标。


在冬季低温低湿的工况下,室外低温低湿的空气通过全新风空调机组进行预处理,处理到温度20℃、湿度9%RH,再进行加湿处理。室内经过干盘管处理后的空气最后在通过末端二级精密温控单元根据实验室内部实时温度进行精密控温,最终使实验室内部的温湿度数据达到温度波动度22.0℃±0.1℃、相对湿度要求45-55%RH这个指标。


关于相对湿度的控制,由于相对湿度和温度有一定的关联性。当空气中含湿量固定的情况下,相对湿度随着温度的升高而下降,随着温度的降低而上升,为了使相对湿度的控制更为精准,我们采用控制绝对湿度的控制理念,即控制空气露点温度来控制湿度,确保机组不会因为机组温度的变化造成湿度波动而频繁的除湿加湿,控制更为精准,避免造成能量浪费。相对湿度控制流程为我们通过温湿度传感器读取实验室内部的温湿度,然后通过程序计算出绝对含湿量的数据,通过计算计算出绝对含湿量与目标值进行对比,如果绝对含湿量偏高,那么我们就通过表冷器预冷进行除湿,如果湿度偏低,那么我们就通过加湿器进行加湿。


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(实验室气流控制,确保内部安全)


有机清洗间及无机清洗间采用负压控制系统,确保实验室处于气流流入状态,避免洗消间内部气流外溢,同时清洗间通风系统采用变风量控制系统,使用高端文丘里阀,线性微控制,精确控制风量,达到准确、节能的高效运行方式。根据理论计算,我们采用的变风量控制系统的能耗只有定风量系统运行能耗的30%。


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(变风量控制系统,绿色环保高效能)


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(变风量系统的能耗对比)


研发类建筑是全新风系统,所以能耗是普通商业建筑的五倍以上。实验室的高能耗连发达国家都受不了,所以实现实验室系统的节能就显得尤为重要。


最后送上一张平台半剖图供鉴赏:

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百闻不如一见

一见不如体验

期待您的到来