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               平台简介


南智先进光电集成技术研究院微纳制造公共技术平台是一个先进和开放的微纳米技术研发支撑平台,对社会提供开放共享的技术研发服务,对提高江北新区、南京市、乃至江苏省的光电类微纳产品的科研水平、开展相关技术交流、促进学科交叉、吸引高层次人才及相关企业入驻、加强企业间的合作交流都有着重要的作用。



               人才队伍


研究院拥有高水平研发人员40余人,其中院士1人、“四青”3人,省“333”工程1人、省“双创”专家1人,高职以上15人。拥有办公及实验场地13000余平米,建有5000平米超净实验室,配置各类光电微纳加工设备,可满足从微米到纳米尺度的光电器件/芯片制备需求。


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              工艺环境

研究院公共技术平台,汇聚微纳加工、制造、测试、封装、光学加工等光电集成领域先进设备,加工能力覆盖了从纳米到微米尺度的微纳加工范围,能够满足可调谐中红外激光器、DFB 激光芯片、计算光电成像技术核心器件及将来新型光电集成器件的加工制备需求。并提供针对Ⅲ-Ⅴ族半导体材料、硅、铌酸锂等材料的微结构加工需要的设备,满足从光刻、刻蚀、金属沉积、晶圆减薄、退火、解理、端面镀膜,到后续的划片、封装贴片、金丝键合、测试、老化,以及工艺过程中的微结构检测需求。



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